Simulação e Modelamento Comportamental de Sistemas Microeletromecânicos (PSI 5109) Exercício 2 Objetivo: Simular uma chave RF MEMS Método: Multisim utilisando elementos concentrados. Modelo Eletromecânico: Dados: Determinar: (1) Determinar a tensão de pull-in e tempo de fechamento para a chave levando em conta amortecimento constante e amortecimento de filme comprimido (simulação no multisim) e compar com a expressão analítica. (2) Mostrar curvas de posição, velocidade, força eletrostática, tensão de atuação e carga. Dicas: (1) Escalonar dimensões por 106, isto é, escrever todas as dimensões e constante em mícrons. (2) Utilizar artigo [1] A. Granaldi and P. Decuzzi, "The dynamic response of resistive microswitches: switching time and bouncing," Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 16, 2006, pp. 1108-1115. para auxílio. (3) Ajustar C2 para obter convergência.