Simulação e Modelamento Comportamental de Sistemas

Simulação e Modelamento Comportamental de Sistemas
Microeletromecânicos (PSI 5109)
Exercício 2
Objetivo: Simular uma chave RF MEMS
Método: Multisim utilisando elementos concentrados.
Modelo Eletromecânico:
Dados:
Determinar:
(1) Determinar a tensão de pull-in e tempo de fechamento para a chave levando em conta
amortecimento constante e amortecimento de filme comprimido (simulação no multisim) e compar
com a expressão analítica.
(2) Mostrar curvas de posição, velocidade, força eletrostática, tensão de atuação e carga.
Dicas:
(1) Escalonar dimensões por 106, isto é, escrever todas as dimensões e constante em mícrons.
(2) Utilizar artigo [1] A. Granaldi and P. Decuzzi, "The dynamic response of resistive microswitches:
switching time and bouncing," Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 16, 2006, pp.
1108-1115. para auxílio.
(3) Ajustar C2 para obter convergência.