Notas de Aula

Microscopia Eletrônica de Varredura
A figura apresenta a projeção de uma
lâmina fina conforme observada no
microscópio de transmissão.
Ocorre uma projeção das linhas, áreas
e volumes de interesse, podendo
ocorrer superposição.
Canhão de Elétrons - ME → Fonte de Luz -MO
Canhão de Elétrons - catodo, eletrodo de controle e anodo
Catodo: - W - aquecido a 2800oC, 100h, 10-5torr
- LaB6- aquecimento indireto 2000oC, 500h, 10-7torr
- Emissão de Campo - sem aquecimento, 1000h, 10-10torr
Eletrodo de Controle - cilindro de Wehnelt:- eletrodo de controle e
estabilização do feixe de elétrons
Anodo: eletrodo que define energia aos termoelétrons emitidos do
catodo
Óptica de Elétrons
•Ciência do movimento de elétrons livres sob a influência de campos eletromagnéticos e
eletrostáticos. Utilizada o fato dos dos campos atuarem na trajetória de um elétron de
forma similar a ação de uma lente de vidro na óptica convencional de luz
Aberrações das Lentes
As lentes magnéticas possuem propriedades e defeitos similares a lentes de vidro
• Aberração Esférica - os raios na borda da lente são focalizados mais próximos que os
incidentes próximos ao feixe; não há um único ponto de focalização - Minimização com
diminuição da divergência do feixe através de aberturas
•Aberração Cromática - elétrons com diferentes energias são focalizados em diferentes
pontos - Minimização com diminuição de abertura, diminuição de delta E
•Astigmatismo - Distorção do feixe devido a assimetria das lentes - Minimização com
utilização de astigmador na lente objetiva.
INTERAÇÃO ELÉTRON - AMOSTRA
•
Elétrons Secundários
•
Elétrons Retroespalhados
• Elétrons Auger
O processo Auger é a segunda opção de dexecitação a partir de um átomo com
camada interna ionizada. O processo Auger compete com a emissão de raio-X
característicos. Os EA têm uma energia bem definida e típica para cada
elemento e podem ser usados para identificação do átomo emissor
•
Raio-X Característico
•
Quando um elétron é liberado de uma camada eletrônica do átomo pela
interação com um feixe de elétrons de alta energia, resulta em um íon em um
estado excitado. Um elétron de uma camada de maior energia entra na
vacância, sendo a diferença de energia liberada na forma de R-X característico.
O comprimento de onda (ou energia) do R-X característico é determinado pela
diferença de energia entre estas duas camadas e a medida do comprimento de
onda ou da energia identifica o tipo de elemento
•
• EDS - Espectrometria de Energia Dispersiva
A espectrometria de Energia Dispersiva utiliza um detetor semicondutor para
detectar as energias dos R-X emitidos da superfície da amostra e converter em
alturas de pulso elétrico
• WDS - Espectrometria por Comprimento de Onda
Esta técnica aplica a reflexão de Bragg (cristal) para medir os λs dos R-X
característicos de uma amostra
EDS
VÁCUO
PREPARAÇÃO DA AMOSTRA
Campos de Atuação - Microscopia Óptica e Eletrônica