Estudo de caso A terceirização da produção de água ultrapura para a produção de wafer eletrônico oferece uma solução prática aos fabricantes Utilizando o formato BOO (Build, Own & Operate) de contrato, a GE disponilizou uma instalação completa de tratamento de água que utiliza água municipal como água de alimentação. A estação de tratamento de água é mantida pelos engenheiros locais da GE e esta operação é combinada com um serviço backup de GE Mobile Water 24h. A base da solução é o Sistema GE DeltaFlow*, o qual combina as tecnologias de Osmose Reversa (OR), Gas Transfer Membranes (GTM) e Eletrodeionização (EDI). Elaborando a solução Figura 1: Instalação da produção de wafer eletrônico Desafio Uma grande instalação de produção de wafer eletrônico na Escócia (Figura 1) necessitou de uma fonte segura e permanente de Água Ultrapura (UPW – Ultrapure Water). Uma revisão da utilização da água na instalação foi promovida pelas mudanças na produção e pelas principais necessidades de atualização da estação. A água utrapura é um fator essencial na produção de wafer eletrônico. A qualidade da água necessária neste processo é maior do que a água utilizada em estações de energia nuclear. Somente neste nível de qualidade a produção pode continuar. Uma necessidade crítica também é a segurança do sistema para garantir que a água ultrapura esteja disponível 24h por dia, uma vez que qualquer falha na produção significa custos altos. Solução Os responsáveis pela produção de wafer selecionaram a GE Water & Process Technologies para fornecer uma solução terceirizada, prática e de longo prazo. A estação de tratamento de água foi projetada para eliminar a presença de qualquer contaminantes na água do processo. Existem dois sistemas construídos de modo a permitir que o segundo sistema opere em loop, isolado do contato direto com qualquer água não tratada. O primeiro sistema da composição purifica a água e remove os principais contaminantes. O segundo sistema, conhecido como UPW loop, produz a água que é usada no processo de produção de wafer. Tabela 1: Especificações da instalação Atual Contrato Vazão 24.000 gpm (90 m3/h) 24.000 gpm (90 m3/h) Entrada TOC 1200 ppb 2000 ppb Condutividade de entrada 75 μS/cm 150 μS/cm Resistividade de saída 18,18 Ωcm >18 MΩcm Saída SiO2 -3 ppb <10 ppb Saída TOC -5 ppb <100 ppb O UPW loop tem uma vazão de 24.000 gpm (90 m3/h). Isso garante um fluxo de água estável e constante na fonte de alimentação permanentemente, evitando o crescimento biológico na superfície da tubulação entre os sistemas. Encontre um contato perto de você, visitando www.gewater.com e clicando em “Contato”. * Marca registrada da General Electric Company; pode estar registrada em um ou mais países. ©2014, General Electric Company. Todos os direitos reservados. CS1124_PB.doc Mar-14 A água de alimentação é pré-tratada com carvão ativado para retirar o cloro e é dosada com antiincrustante para prevenir incrustação de cálcio, ferro e bário. A água é então processada pela unidade de DeltaFlow e polida por leito misto para desmineralizar (DI) e melhorar a qualidade da água antes de entrar no tanque de armazenamento de UPW. Este tanque é mantido sob uma atmosfera de nitrogênio para prevenir a entrada de oxigênio. fornecendo apoio ao serviço, garantindo uma solução segura e confiável durante a vida do projeto. Além disso, com a maior frota móvel de purificação de água do mundo, a GE providencia soluções de longo prazo e de emergência, combinando localização fixa e móvel em todo o mundo. A água DI é bombeada de maneira circular no UPW loop, passando por unidades de UV de 185nm para redução de TOC, leitos mistos para polimento da água abaixo de 18 megOhm e, finalmente, através de filtros cartucho absolutos de 0,2 e 0,1μm para controle de partículas. Benefícios O sistema DeltaFlow foi projetado para operação contínua e as membranas proporcionam uma barreira física para o material coloidal e orgânico. Incluído dentro de um contêiner padrão, a unidade DeltaFlow economiza tempo e espaço durante a instalação e tem facilidade de manutenção, se necessário. Representantes de Serviço de Campo (RSC) da GE, graduados e especificamente treinados para estes serviços, montam e comissionam o sistema de tratamento de água na planta do cliente e continuam Figura 2: Sistemas Móveis da GE A GE vem providenciando serviços de emergência e de longo prazo há mais de 30 anos. O compromisso com os clientes é a base de nossos serviços em todo o mundo. Figura 3: A solução GE Page 2 Case Study