Novos Materiais e Processos

Novos Materiais
e Processos
Microeletrônica
O núcleo de Novos Materiais e Proces-
microeletrônica, de materiais, metal-
sos se constitui em um dos principais
mecânica, automotiva e aeroespacial e
centros de excelência no país em
compreendem:
processos de microfabricação, empre-
• Filmes finos metálicos, dielétricos e
gados em microeletrônica, e em técni-
semicondutores
cas de microusinagem, empregados
• Polímeros
na fabricação de dispositivos micro-
• Materiais duros anti-desgaste e
eletro-mecânicos (MEMS) e micro-
anti-corrosão
opto-eletro-mecânicos (MOEMS).
Como exemplos de inovação, podem
Nos últimos anos, o núcleo tem dado
ser citados polímeros desenvolvidos
forte ênfase ao estudo de novos mate-
como
riais e processos necessários para a
plantas petroquímicas e materiais de
fabricação de dispositivos inovadores,
alta dureza baseados em carbetos e
como sensores biológicos, químicos e
nitretos,
de pressão, bem como de atuadores.
conformação mecânica. O núcleo de
Para tanto, o núcleo de Novos Mate-
Novos Materiais e Processos possui
riais e Processos conta com as facili-
diversos equipamentos para estudar
dades da Divisão de Microssistemas
propriedades
Integrados do Laboratório de Sistemas
mecânicas de materiais. Além disso,
Integráveis. A infra-estrutura básica
conta com sistemas de teste de
consiste de uma Sala Limpa (classe
componentes
10.000), com 86
sos, com 78
m2,
m 2,
Sala de Proces-
Sala de Sensores,
camadas
integrados,
para
anti-corrosão
a
indústria
elétricas,
eletrônicos,
sensores
e
ópticas
em
de
e
circuitos
estruturas
ópticas e mecânicas.
com 76 m2, Sala de Caracterização
Óptica, com 33 m2, e Salas de Caracterização, com 135 m2.
Principais linhas de pesquisa
As pesquisas do núcleo estão voltadas
para a busca de soluções inovadoras
para
as
indústrias
eletrônica,
www.lsitec.org.br
de
Núcleo de Montagem Eletrônica
Fone: (55 11) 3091 9738
www.lsi.usp.br/~dmi