oficina usp de fabricação de circuitos integrados

OFICINA USP DE FABRICAÇÃO
DE CIRCUITOS INTEGRADOS
(TECNOLOGIA SOI-nMOSFET)
Curso oferecido no LSI/LME do Departamento de Sistemas
Eletrônicos da Escola Politécnica da USP de 18 a 22/08/2014
ESCOPO DO CURSO
O curso apresenta uma abordagem prática e abrangente sobre a fabricação
de circuitos integrados em tecnologia SOI-MOSFET. Nesse contexto, os
estudantes participam (em Sala Limpa) da sequência completa de fabricação
de um CI teste com transistores, diodos, capacitores e inversores, e se
envolvem na pratica, com processos de fotolitografia, oxidação, implantação
iônica, difusão térmica e deposição por plasma de filmes isolantes e
metálicos. O curso também inclui aulas relativas ao projeto do processo de
fabricação e caracterização elétrica dos dispositivos fabricados.
TECNOLOGIA UTILIZADA
A tecnologia SOI-MOSFET é sucessora da tecnologia MOS convencional e na
atualidade é padrão de fabricação nas principais indústrias de microeletrônica
do mundo, como a Samsung, IBM e STMicroelectronics. Os dispositivos SOI
fabricados no curso são de tipo n-MOSFET e apresentam como principal
característica a utilização de portas auto alinhadas de silício policristalino,
num processo de fabricação que emprega apenas 3 etapas de fotolitografia.
O processo em questão foi totalmente desenvolvido na Universidade de São
Paulo (USP) e as aulas serão realizadas nas dependências do Laboratório de
Microeletrônica (LME) e Laboratório de Sistemas Integráveis (LSI) da Escola
Politécnica (EP) da USP.
Vista ampla (acima) e detalhe (abaixo)
de uma cascata de transistores
SOI-MOSFET fabricados na Oficina-USP
de fabricação de circuitos integrados
PUBLICO ALVO
 Profissionais da indústria,
 Pesquisadores de centros de pesquisa em áreas afins com a
microeletrônica e suas tecnologias,
 Alunos de graduação e pós-graduação em Eng. Elétrica, Física e Química
CARGA HORÁRIA: 40 horas (5 dias com 8 horas diárias - entre 18 e 22 de agosto/2014)
VAGAS: Por questões operacionais/qualidade as turmas são limitadas a grupos de 12 alunos
INSCRIÇÃO: R$ 2.000,00 (bolsas parciais e integrais poderão ser concedidas em casos excepcionais)
OFICINAS "ON DEMAND”: são realizadas para grupos de alunos de Instituições de Ensino,
Empresas e Centros de Pesquisa
Venha fazer parte do seleto grupo de profissionais com conhecimento prático dos
processos de fabricação e caracterização de CI’s e dispositivos integrados
INSCRIÇÕES até:
31/07/2014
Contato:
Prof. Dr. João Antonio Martino (LSI) - [email protected]
Prof. Dr. Marcelo N.P. Carreño (LME) - [email protected]
Obs: Para inscrição favor preencher a ficha de inscrição anexa e enviar para os emails acima o
quanto antes, já que o número de vagas é limitado.