mestrado-física-ana paula araújo de albuquerque

MESTRADO
FÍSICA
DEPOSIÇÃO E CARACTERIZAÇÃO DE FILMES FINOS DE TITANATO DE BÁRIO-ESTRÔNCIO (BST)
ANA PAULA ARAÚJO DE ALBUQUERQUE
O estudo de filmes finos tem aumentado muito nos últimos anos devido ao grande interesse tecnológico
e suas diversas aplicações. Particularmente, os materiais ferroelétricos, como o Titanato de Bário
-Estrôncio (BST), apresentam polarização espontânea que pode ser revertida pela aplicação de um
campo elétrico externo, o que os tornam atrativos para uma série de aplicações tecnológicas, como a
confecção de dispositivos de memórias dinâmicas (DRAMs) e circuitos sintonizáveis em frequências de
micro-ondas. Este trabalho tem como objetivo, confeccionar filmes finos de Titanato de Bário-Estrôncio
(BST) através da técnica de sputtering (pulverização catódica), utilizando o equipamento do Laboratório
de Microeletrônica da Escola Politécnica da USP (LME/EPUSP), em regime de cooperação científica. Na
caracterização desse material utilizou-se das técnicas de XRD (Difração de Raios X), que possibilitau
identificar as fases cristalinas do material e determinar propriedades estruturais destas fases, como
estrutura atômica, tamanho de grão, orientação preferencial, estado de deformação e estrutura de
defeitos, Microscopia Óptica que possibilitou analisar a superfície do material como depositado e após o
tratamento térmico e a Perfilometria que possibilitou determinar a espessura dos filmes e estimar a
taxa de deposição dos filmes.
PRÓ-REITORIA DE ENSINO DE PÓS-GRADUAÇÃO
VI MOSTRA DA PÓS-GRADUAÇÃO/2014